真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認(rèn)加熱電源已停止。 　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。 　　3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來。 　　三 停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止 　　1、抽真空開始前，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。 　　3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。 　　4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時(shí)間比通常長(zhǎng)時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。 　　2、通過壓力上升測(cè)試或者用氦氣檢漏來確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護(hù)性氣氛中，對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí)，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國(guó)還未見定型產(chǎn)品。

　　真空甩帶爐各組成裝置的性能介紹：八佳電氣生產(chǎn)的真空甩帶爐采用的是臥式爐體，側(cè)部開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小，采用高頻電源加熱，主要供大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下對(duì)金屬材料(如不銹鋼、鎳基合金、銅、合金鋼、鎳鈷合金、稀土釹鐵錋等)的熔煉澆鑄處理，也可進(jìn)行合金鋼的真空精煉處理及精密鑄造。還可進(jìn)行非晶甩帶，噴鑄和壓鑄處理，一臺(tái)設(shè)備，多種功能。 　　隨然，真空甩帶爐看起來并不大，但其結(jié)構(gòu)也是相對(duì)復(fù)雜的，主要有真空腔體、熔煉裝置、噴鑄裝置、甩帶裝置、壓鑄裝置、模具預(yù)熱系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、爐體支架、電氣控制系統(tǒng)及水冷卻系統(tǒng)組成。 　　1、真空腔體：由爐體、爐蓋和爐底組成;爐體由不銹鋼法蘭和內(nèi)外筒體組焊而成，內(nèi)壁鏡面拋光，爐體上開設(shè)有壓鑄接口、噴鑄接口、旋轉(zhuǎn)電極接口、甩帶收集管、紅外測(cè)溫接口、模具預(yù)熱電源電極引入接口;真空甩帶爐的爐蓋由整體實(shí)心加工而成，上面開設(shè)有大直徑觀察窗，可直觀的觀測(cè)到爐內(nèi)的各種實(shí)驗(yàn)情況;爐底也是由整體實(shí)心加工而成，固定有甩帶裝置。整體外觀啞光處理，整潔大方。 　　2、熔煉裝置：由 超音頻電源、水冷電纜、旋轉(zhuǎn)電極、線圈、保溫套和坩堝組成，通過更換線圈、保溫套和坩堝實(shí)現(xiàn)不同容量。真空甩帶爐的高溫溫度可加熱至1700℃。(容量按照50g,200g,500g,1000g來配)，熔煉完成后可通過手動(dòng)傾倒到模具內(nèi)。 　　3、噴鑄裝置：由氣缸、石英管、時(shí)間繼電器、氣源恒定裝置等組成，可實(shí)現(xiàn)小容量溶液的噴帶和噴鑄。(噴鑄配石英管，容量50g) 　　4、甩帶裝置：真空甩帶爐的甩帶裝置由噴鑄裝置、高速調(diào)速電機(jī)、磁流體密封裝置和銅棍等組成，可通過調(diào)節(jié)電機(jī)速度，實(shí)現(xiàn)不同銅棍線速度。 　　5、壓鑄裝置：由特殊加壓裝置、壓架、底座、壓頭和母模等組成，當(dāng)溶液澆鑄或者噴鑄到母模內(nèi)，啟動(dòng)加壓裝置對(duì)工件加壓，提高其致密性。壓鑄底部壓頭有定位槽，保證上下壓頭同心度;底部壓頭可調(diào)節(jié)高度;整套壓力架支撐在地上。相對(duì)人性化的設(shè)計(jì)是在爐體底部有防漏盤，防止熔液損壞真空腔體。 　　6、模具預(yù)熱系統(tǒng)：為防止?jié)茶T到母模內(nèi)的溶液冷卻過快，特在母模外部加裝感應(yīng)線圈預(yù)熱，由一臺(tái)7.5Kw IGBT超音頻電源、水冷銅接頭和線圈等組成，如果不用預(yù)熱，也可取下感應(yīng)線圈，用悶頭密封。預(yù)留有兩路進(jìn)出水，水流量可通過流量計(jì)來控制(專門用于水冷銅模)。 　　7、抽真空系統(tǒng)：至于抽真空部分是由一臺(tái)擴(kuò)散泵、一臺(tái)雙極直聯(lián)泵、三臺(tái)氣動(dòng)擋板閥、真空管路和真空計(jì)等組成，冷態(tài)極限真空度優(yōu)于6.67×10E-3Pa。 　　8、爐體支架：由型材和鋼板拼裝而成，門板全部采用數(shù)控加工，尺寸精度高，外表噴塑處理，整體布局合理，顏色搭配美觀。和電控柜采用一體結(jié)構(gòu)。 　　9、電氣控制系統(tǒng)：各種電氣元器件采用國(guó)際知名品牌，按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制作而成。面板采用模擬屏，可直觀控制設(shè)備的各部件，并有水欠壓、斷水聲光報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱功能。 　　10、水冷卻系統(tǒng)：真空燒結(jié)爐的冷卻系統(tǒng)由水冷機(jī)、各種閥門和水管等組成，帶有電接點(diǎn)水壓表，具有超壓、欠壓報(bào)警功能。 　　通過八佳電氣科技的小編分解式的介紹，想必大家應(yīng)該有所了解了。如有深層了解，歡迎咨詢我們。