氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測溫?zé)犭娕?，是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢介紹?！　‰娮锠t可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控，壓力波動??；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時間短，生產(chǎn)效率高。

　　熔鹽電解爐發(fā)明涉及通過熔融鹽電解制造金屬的方法，其是在具有陽極和陰極的電解槽中裝盛氯化鈣熔融鹽進(jìn)行的通過熔融鹽電解制造金屬的方法。 　　熔鹽電解爐制造裝置的陰極或陽極一方的電極以包圍另一方電極的方式設(shè)置，陰***有至少一個連通陰極包圍的內(nèi)部區(qū)域和外部區(qū)域的流通口，熔融鹽經(jīng)由流通口由內(nèi)部區(qū)域或外部區(qū)域中設(shè)置陽極的一側(cè)區(qū)域向另一方區(qū)域流通。 　　操作方便，能降低能耗和生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品產(chǎn)量和合格率的制取稀土金屬或稀土合金的陽極技術(shù)。熔鹽電解爐是在氟化體系熔鹽電解制取稀土金屬或稀土合金工藝中采用塊狀多陽極技術(shù)，且陽極板是固定安裝在爐蓋板上，爐蓋板作導(dǎo)電板，陽極消耗后可在電解過程中依次更換，整個更換過程不需間斷電解，且更換后不需起弧升溫。 　　并且在熔鹽電解爐電控系統(tǒng)中設(shè)計了爐膛測溫裝置、爐膛負(fù)壓測量裝置，鼓、引風(fēng)機(jī)風(fēng)門控制電動執(zhí)行系統(tǒng)，風(fēng)門自動開度指示系統(tǒng)，為司爐人員提供了可靠的觀測系統(tǒng)，提高了鍋爐運行的可靠性，設(shè)備運行的經(jīng)濟(jì)性。配套***除塵器和余熱回收裝置，除塵效果優(yōu)良、余熱回收效果好，鍋爐排塵濃度滿足我國一類地區(qū)要求。