氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安裝固定在相應的基礎上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象?！　?、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置?！　?、控制電源開關置于斷開位置?！　?、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭?！　?、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空甩帶爐的爐溫不正常要怎么辦 　　真空甩帶爐爐溫度異常，包括溫度過高報警，或顯示溫度無法達到設定值。先檢查爐子工作區域的恒溫參數是否正常，參考其他正常使用恒溫器的所有參數證明。 　　在啟動電源的情況下，手抖動熱電偶探頭內相應的工作區域，查看相應的恒溫器是否顯示大范圍的跳動，如果出現這種現象，則熱電偶探頭接觸不良，需要更換新的的。 　　如果是真空爐顯示溫度低***小于設定值。檢查真空甩帶爐相應工作區域內的熱電偶是否損壞。要檢查這些熱電偶是否良好，可將恒溫器上的熱電偶連接到恒溫器，并觀察溫度顯示。如果熱電偶確實損壞，必須更換。 　　如果恒溫器，熱電偶沒有問題，需要測試加熱管是否正常運行。方法：電源打開后，按照電路圖開始加熱，直接用測試筆測試真空甩帶爐連接到導線的加熱管的相應工作區域看是否有電。如果有電達到，還需要使用夾具來查看當前工作區域之間的當前差異，在正常情況下，差異不顯著。 　　如果沒有電力到達，您必須逐一檢查真空燒結爐電路的電路圖，看看斷電結束以及組件是否燒毀。