真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現冷卻水異常怎么辦? 　　發現工業爐出現異常時，要先確認加熱電源是否已經停止。如果真空燒結爐爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現異常時，真空燒結爐處于停止狀態，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。

　　高溫熱處理爐加熱體出現故障應該如何修理?像真空燒結爐此類的工業爐加熱體長期工作會出現變軟、膨脹、下墜等現象。那應該如何讓修理呢? 　　為了使爐絲在高溫下具有一定的強度，先要設計好爐絲的結構尺寸。安裝高溫熱處理爐加熱體時要緊靠爐襯，在擱磚上要放平，留有膨脹空間。此外，為防止爐絲之間相互接觸，要墊隔離片。 　　爐絲有倒伏現象的，要檢查高溫熱處理爐爐絲小鉤是否還有用，并且可以用氣焊使其變軟，再恢復到其原有的形狀和尺寸。如果同時使用兩根瓷管，瓷管端頭必須緊靠。 　　加熱體對一般斷頭可以直接進行焊補，對于局部損壞嚴重的，可采用換補一段的方法，不過要注意用于補焊的電阻絲的材料、直徑等要符合原技術要求。