真空燒結(jié)爐主要是進行真空燒結(jié)及其他常規(guī)燒結(jié)的工藝，它是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，效果怎么樣呢?有很多人仍心存疑慮，今天就請洛陽八佳電氣科技股份有限公司介紹一下。 　　燒結(jié)爐的關鍵部件全部采用進口零件，可靠性極高，操作安全。它還具有可編程的升、降溫功能，操作簡單。此類的工業(yè)爐如高溫熱處理爐、真空速凝爐都具有此項功能。 　　除此之外，真空燒結(jié)爐還具有自動斷電報警、超溫報警、極限超溫報警以及其他多種安全保護功能，整個操作過程更安全放心，有效減少了生產(chǎn)事故。 　　具有高抗干擾能力，也是真空燒結(jié)爐的優(yōu)質(zhì)特點之一，在一臺設備上它可以獨立完成多個工藝流程;其還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置，還能應用于其他領域。

　　真空燒結(jié)爐是在真空的環(huán)境中對被加熱物品進行保護性燒結(jié)的爐子，其加熱的方式比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等;好的養(yǎng)護工作決定了爐子的使用壽命，具體養(yǎng)護方法又有以下幾種。 　　本文由我公司技術人員及售后人員整理編輯，方便廣大真空爐用戶解決一些基本的問題。如果自行無法解決請聯(lián)系本公司。本文以一臺普通熱壓爐為例，其他真空爐亦可參考本文章。 　　A.安裝：安裝電爐的場所應符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起灰塵等。1.檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。2.控制柜安裝在相應的地基上，并固定。3.安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。4.檢查電器可動部分應活動自如，無卡死現(xiàn)象。5.絕緣電阻應不低于2兆歐姆。6.真空電爐各閥門必須在關閉位置。7.控制電源開關放在關位。8.手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。9.報警鈕放在開位。10.按平面圖完成設備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設備總進出水管處再接入一備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。 　　B.設備調(diào)試 　　1.按設備平面布置圖將設備就位，聯(lián)接好所有的真空管路、閥門，注意機械泵*與地面固定或四角墊減震橡膠板減震，檢查所有的配件是否與發(fā)貨清單相符。 　　2.將有關的外部設施電源線聯(lián)接好。上電后檢查儀表是否顯示、機械泵、液壓泵的轉(zhuǎn)向是否正確，熱電偶自動進出是否正常，氣動閥是否正常工作。 有條件*先抽一下真空，等第二天可檢查是否有漏氣。 　　3.打開爐蓋，將保溫層放入爐內(nèi)，調(diào)整其高度及對中性，觀察爐體周圍三個孔的位置是否正確。否則應調(diào)整好。 　　4.放置石墨電極及石墨環(huán)，調(diào)整好其中心及高低位置。試放石墨發(fā)熱體及保溫屏。一切無誤后，可加工發(fā)熱體。放置發(fā)熱體、保溫層等后應測量其與爐殼的絕緣性，短期試一下手動加溫(時間不能太長、功率不宜太大)儀表是否正常。液壓缸升降是否正常，液壓系統(tǒng)冷卻水管不要忘記接上，調(diào)整壓力的正確性，儀表自動調(diào)節(jié)壓力是否正常。 　　5.安裝完畢后，抽低真空，等水路接通后可試燒一爐，加熱手動/自動升溫，溫度不低于1600℃，加熱時間不少于4小時，預燒結(jié)束后在降溫階段可對擴散泵加熱，擴散泵加熱時間不能小于45分鐘，然后關閉上部的小蝶閥，啟動大擋板閥(或大蝶閥)，觀察真空計的數(shù)值變化，此時真空度應很快小于0.1Pa。 　　在新爐以及更換筑爐耐火材料后，應對真空燒結(jié)爐進行烘干處理;在烘干初期，爐體會升溫速度低，時間長;如是網(wǎng)帶爐，在爐溫己升至400℃時應運轉(zhuǎn)一段時間，以進行氧化處理，提高網(wǎng)帶的壽命。 　　此外，爐子要定期清理，保持真空燒結(jié)爐爐體的清潔，定期清理爐內(nèi)的氧化鐵皮、碎石墨、氧化鋅等雜物。 　　洛陽八佳電氣科技股份有限公司主營真空燒結(jié)爐、真空速凝爐、高溫熱處理爐、熔鹽電解爐及氣相沉積爐;創(chuàng)立于1994年，公司同時生產(chǎn)硅整流二極管系列產(chǎn)品、晶閘管系列產(chǎn)品以及感應加熱電控設備;***的我們隨時歡迎您的蒞臨合作。