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使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項
發布時間:2023-02-09   瀏覽:5048次

  使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項

  使用氣相沉積爐時需要特別注意以下幾點。大家一起看看吧。

  1、模具一般由用戶自備,模具材料基本采用高純石墨,其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用,加壓前計算模具上、下沖頭面積,換算成壓力。具體公式如下:系統允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa

  2、熱電偶為鎢錸型,使用后變脆,不能接觸。破損時請立即更換。其型號為W2型。

氣相沉積爐

  3、冬季要注意氣相沉積爐循環水的保溫問題。否則容易發生自來水管破裂。

  4、使用后爐體應保持真空,爐內保溫層容易受潮,保持真空下次抽真空會更快。

  5、設備復雜,建議專人使用,專人負責,嚴格對初學者進行使用前培訓,有使用后檢查、操作使用記錄等設備使用規定。

  6、氣相沉積爐也可作為真空燒結爐使用。用于真空燒結爐時,請注意在爐內放置坩堝后,合上保溫板蓋后,不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。

  7、操作前觀察窗玻璃清潔,清掃爐內壁,觀察水壓情況,觀察爐內石墨有無損傷,開機后觀察儀表顯示是否正常,測試液壓系統是否正常工作。

  8、氣相沉積爐使用一年后,應將儀器送計量部門校準。

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真空爐的安裝與使用教程

真空爐的安裝與使用教程

        1、請參閱附圖提供的真空爐烘箱配置。安裝位置和民用條件為,選擇設備的***安裝位置并進行土建施工。安裝地點必須無煙,環境清潔,風干,不應與其他設備放在一起,保持環境溫度在10至35°C之間,地板光潔。   2、安裝帶有石墨和水冷電極的電加熱元件時,   采取石墨部件時要非常小心,以免損壞;   灣可靠地擰緊螺栓以實現良好的電氣接觸。不要用太大的力來防止線頭斷裂。   3、根據真空系統圖放置真空系統,組裝并連接到爐體。組裝時在O形圈上涂抹一層薄薄的真空潤滑脂,并均勻擰緊法蘭。   4根據水冷系統示意圖,進水管和排水管分別連接到爐子的排水口、,以提供壓力為0.1-0.15 MPa的水源,溫度不高低于15℃且不高于30℃,優選提供循環。水、抗氧化水。   5、提供***小壓力為0.5 MPa的氣動空氣源。工業氮氣,如壓縮空氣,可用于制備“三大”氣動部件(如、油霧、減壓器濾水器)。   6、按下充氣系統圖將管道連接到灌裝線,建議提供純度為99.99%-99.99%的高純度氮氣作為再灌注器。   7、根據電接線圖,將電源連接到相應的電觸頭,檢查電壓電源,連接在控制箱,電纜和流漿箱和身體之間烤箱。   8、安裝剩余的組件,包括導管測量儀器、。   9。爐體和、控制箱接地,接地電阻為4歐姆,儀表電纜和真空表也必須接地。

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